第1269章 惊蛰转地下，立十四纳米军令状（2/2）

梁博士呼吸急促，布满血丝的双眼直盯着张扬。

从二十八纳米平面晶体管跨到十四纳米三维鳍式结构，中间横着一道半导体物理极限的天堑。

国内无数半导体人熬白了头，连二十八纳米的门槛都没站稳，更别说海外巨头严防死守的十四纳米工艺。

余东东铿地站起身，咧着大嘴急切道：

“张老弟，你这一步可算说到我心坎里了！”

“实不相瞒，北美商务部这几天一直在给台积电施压，要求他们审查海思后续旗舰芯片的流片代码。”

“任总昨晚还跟我通了电话，他担心台积电一旦断供十四纳米和十六纳米产线，咱们明年的麒麟旗舰芯就得停摆。”

“张江二期要能把十四纳米砸出来，就保住了国产高端机的命根子！”

“可是张总，咱们手里只有那台魔改过的阿斯麦1980Di浸没式光刻机，它用常规曝光工艺，最多只能支撑二十八纳米制程。”

梁博士推了推眼镜，既舍不得放过这个机会，心中又有所顾虑。

“想用这台机器硬上十四纳米，必须采用双重，甚至四重自对准图形化技术，曝光次数每多一轮，套刻误差和工艺复杂度都会往上叠，硅片上的鳍式结构只要偏离一点五纳米，整张晶圆就得报废！”

“套刻精度交给算法团队。”

沈默敲了几下键盘，把大屏幕上的三维模型放大。

“梁博士，我们升级了亦庄实验室那套卷积神经网络模型，激光干涉仪回传数据后，扬天云超算会做毫秒级动态补偿。”

“只要光刻机的双工件台机械精度稳得住，AI算法便能将四重图形化的套刻误差控制在一点二纳米以内！”

梁博士快步来到屏幕前，细看沈默调出的仿真校准曲线，手指顺着光路轨迹来回比画。

“一点二纳米……AI超算若真能把多重图形化的畸变补偿做到这个地步，设备上的物理瓶颈就算打通了！”

“可多重图形化会让工序成倍增加，前期试错烧掉的晶圆和光刻胶，数目大得吓人！”

“梁老，在扬天系搞研发，最用不着操心的就是钱。”

张扬从怀里取出刚签完字的资金划拨函，啪地拍在梁博士面前。

“这是林耀东在华强北扫货，为集团和大米省下的二十亿人民币差价补贴。”

“我已经让许盈把二十亿全数打进中芯国际张江二期的专项监管账户，专供十四纳米项目使用，项目代号‘惊雷’，这笔钱就是它的烧片基金！”

“资金不计入中芯国际上市公司的研发损耗考核，也不设财务回报指标，烧完了，我再从扬天产业基金往里补！”

梁博士低头看着划拨函上那串长长的零，又看了看鲜红的银行电子回单印章，眼眶一下红了。

他在海外半导体巨头干了半辈子，见过太多研发项目因为季度财报难看，被董事会强行砍掉，也吃够了巧妇难为无米之炊的苦。

到了张扬这里，二十亿现金就这么砸了下来，只求用三年时间，换来一次追平代际差距的机会！

“好！好一个拿外国人的芯片养中国人的产线！”

梁博士声音沙哑，从口袋里摸出钢笔。

他深吸一口气，用左手按住右腕，在十四纳米攻关立项书底部，工工整整签下姓名。

“张总，余总，我老梁把这把老骨头豁出去了！三年之内，要是张江二期拿不出十四纳米的惊雷芯片，我自己把脑袋拧下来，挂到车间大门上！”

“有梁老这句话，咱们的腰杆子就硬了！”

张扬上前用力握住梁博士布满老茧的手，晃了两下。

会议室里几人刚定下三年攻关大计，桌上的手机忽然震个不停。

张扬拿起手机接通电话，雷布斯焦急的声音传了出来。

“老弟！出大事了！小本子索尼半导体刚刚单方面撕毁年度供货协议，彻底断供咱们大米5尊享版和花为Mate8急需的IMX298顶级图像传感器！”